等離子系列產(chǎn)品
VP-10D全新全自動等離子清洗機
關(guān)鍵應用
設(shè)備優(yōu)勢
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功能配置 | 技術(shù)參數(shù) | |
設(shè)備尺寸 | 寬x長x高 | 1020L*1380W*1865H |
凈重 | 400KG | |
設(shè)備周邊間隙 | 后面800mm,兩側(cè)500mm | |
腔體 | 容積 | 工藝腔體容積8.5L |
適應產(chǎn)品尺寸 | 寬度50-100mm / 長度150-300mm | |
電極 | 電極尺寸 | 上:320*500mm 下:320*520mm |
射頻電源 | 標準功率 | 1KW |
頻率 | 13.56MHz | |
氣體控制 | 最多支持三路 | 標配2路,可以選配3路 |
控制系統(tǒng) | 人機界面 | PLC觸摸屏 / PC控制 |
遠程接口 | 通訊 | 選配 |
真空泵 | 可選干泵 | 90CFM |
可選油泵 | 195CFM | |
可選帶吹掃功能干泵 | YES | |
氮氣吹掃流量 | 2SLM | |
廠務設(shè)施 | 電源 | AC380V 50-60HZ 4KW (油泵) / AC380V 50-60HZ 7KW (干泵) |
工藝氣體管路尺寸&類型 | 1/4inch Swagelok | |
工藝氣體純度 | 工業(yè)級及以上 | |
工藝氣體壓力 | 10-20 psig | |
吹掃氣體管路尺寸&類型 | 1/4inch Swagelok | |
吹掃氣體純度 | 工業(yè)級及以上 | |
吹掃氣體壓力 | 15psig | |
氣動閥門管路尺寸&類型 | 10 mm push-in fitting | |
氣動氣體純度 | 壓縮空氣,無油,露點<=7"C,顆粒<5 | |
氣動氣體壓力 | 70-90psig | |
壓縮空氣排氣管路 | 10mm | |
合規(guī) | 認證 | SEMI |
輔助設(shè)備 | 氮氣發(fā)生器(可選) | 有氮氣吹掃功能需求時選配 |
冷水機(可選) | 配置冷卻功能電極時選配 | |
氫氣工具包(可選) | 使用氫氣進行處理時選配 | |
尾氣處理機(可選) | 含氟氣體處理時的尾氣處理選配 | |
運輸 | 總重量 | 460KG |
包裝件數(shù) | 1 | |
包裝符合SPM15標準 YES |