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等離子清洗技術(shù)介紹

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一、等離子介紹

什么是等離子?

       等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),即是包含離子電子與中性粒子或部分游離的氣體。

物質(zhì)由分子構(gòu)成,分子由原子構(gòu)成,原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。對氣體施加足夠的能量,使外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子,形成等離子體。

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生活中有哪些常見的等離子現(xiàn)象?

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二、等離子清洗技術(shù)

等離子清洗原理

1、化學(xué)反應(yīng)

      將氧氣、氫氣等反應(yīng)性氣體電離后,將形成高能量和高反應(yīng)性的等離子體。這些等離子體具備高活性,在與表面污染物接觸時(shí)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)分解污染物。氧氣適合處理非揮發(fā)性有機(jī)物(例如助焊劑),氫氣適合處理金屬表面氧化層。

2、物理反應(yīng)

      將氬氣等惰性氣體電離后,將形成高能量等離子體。以氬離子利用電漿與基板間的電位差,高速撞擊基板,以撞擊動力濺射掉污染物或?qū)⑻細(xì)湮廴疚锘瘜W(xué)鍵裂解,形成氣體揮發(fā)。因不會發(fā)生氧化反應(yīng),常應(yīng)用于清洗精密電子器件,例如半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)。

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等離子清洗的行業(yè)應(yīng)用

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等離子行業(yè)應(yīng)用樣例:

1、軟硬結(jié)合板、多層高頻板、多層混壓板等疊層壓合前PI、PTFE等基材表面粗化:

由于內(nèi)層板面光滑,層壓困難,表面油污或者指紋很容易導(dǎo)致層壓后結(jié)合力不足,容易分層,等離子處理可把表面異物、氧化膜、指紋、油污等清除干凈,而且可將表面凹蝕變粗糙,使結(jié)合力得到顯著提高,一般可增大10倍以上。

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2、化學(xué)沉金/電鍍金后,SMT前,焊盤表面清潔:可焊性改良,杜絕虛焊、上錫不良,提高強(qiáng)度和信賴性。

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等離子清洗的優(yōu)勢

1、無需干燥:清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率;

2、清洗更徹底:等離子體的方向性不強(qiáng),可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀,而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好;

3、不受清洗材料限制:金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物)都可以使用等離子體來處理,特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。

4、改善表面親水性:在完成清洗去污的同時(shí),還可以改善材料本身的表面性能,例如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的;

5、綠色環(huán)保 健康安全:避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,清洗后不會產(chǎn)生有害污染物。等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害,同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題;


三、安達(dá)等離子清洗設(shè)備

1、常壓式等離子清洗機(jī)

ADAPC102-A系列

ADAPC102-A常壓等離子清洗系統(tǒng)廣泛適用于材料表面涂覆、印刷、粘接、焊接、綁定、上膠前的預(yù)處理等。該系統(tǒng)采用Anda 公司自主開發(fā)的數(shù)字控制的等離子發(fā)生器電源和特有發(fā)明專利二級電離技術(shù)的等離子腔體產(chǎn)生的低溫等離子束更充分均勻,噴嘴外延無拉弧燒蝕設(shè)計(jì)極大地延長槍嘴使用壽命

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?寬范圍交流電壓輸入100-240VAC適用不同國家,地區(qū);

?可編程工藝參數(shù)設(shè)置(工作頻率,功率、氣壓,電壓等);

?可分體插拔式槍體連接;

?產(chǎn)品運(yùn)行低功耗,低ESD,低噪音干擾;

?自動檢測、適配多種規(guī)格槍嘴槍體;

?多種控制方式:本地,PLC/IO遠(yuǎn)程,RS485通訊;

?采用數(shù)字電源技術(shù),輸出純正弦波電壓。


AP-3系列

應(yīng)用于印刷包裝,手機(jī)電腦數(shù)碼,塑膠,玻璃,電子,汽車,醫(yī)療,金屬等行業(yè),進(jìn)行局部/整面清洗,增加表面粘附性。

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AP-3系列產(chǎn)品優(yōu)勢&特點(diǎn):

?專用鋼制運(yùn)動平臺,確保運(yùn)行平穩(wěn);

?可配置雙頭雙槍,同時(shí)處理工件正反面;

?可配置等離子旋轉(zhuǎn)噴槍,活化:大幅提高表面的潤濕性能,形成活性的表面;

?編程方式為手動示教或者鍵盤進(jìn)行在線編程,可儲存程序等相關(guān)數(shù)據(jù);

?在線式軌道設(shè)計(jì),可與其他機(jī)器在線接駁,軌道可自動調(diào)幅;


AP-3P技術(shù)參數(shù)

功能配置

技術(shù)參數(shù)

型號

 AP-3P

外形尺寸(mm)

 L=900,W=1300,H=1650

重量(kg)

 530

 工控機(jī)+運(yùn)動控制卡

編程方式

 手動編程

輸送軌道

 皮帶輸送

輸送高度(mm)

 900±20

步進(jìn)馬達(dá)輸送(m/min)

 2-13

X、Y、Z驅(qū)動方式

 伺服馬達(dá)+滾珠絲桿

最大移動速度(mm/s)

 800

運(yùn)行精度(mm)

 ±0.02

噴槍數(shù)量

 1套

噴槍類型

 □旋轉(zhuǎn)頭(標(biāo)配)  □尖頭

工作方向

 □左至右(標(biāo)配)  □右至左

重復(fù)精度(mm)

 ±0.02

有效行程(mm)

 X=460,Y=460

處理功率(W)

 500/1000

單次處理寬度(mm)

 旋轉(zhuǎn)頭50,尖頭8-10

有效處理高度(mm)

 3-15

外理速度(mm/s)

 800(最大)

通訊端口

 標(biāo)準(zhǔn)SMEMA

輸入氣壓報(bào)警

 菜單+聲光報(bào)警

電源

 AC 200V 50/60Hz

氣壓(MPa)

 0.6

供氣類型

 壓縮空氣或氮?dú)?/span>

總功率(kW)

 2

安全標(biāo)準(zhǔn)

 CE

2、真空式等離子清洗機(jī)

VP-10S

應(yīng)用于集成電路封裝(引線框架清晰),引線鍵合,芯片鍵合,EMC封裝前后處理等。另外,VP系列各機(jī)型還具備10L,60L,80L,100L,150L等不同容積的真空腔,滿足批量處理&大尺寸產(chǎn)品處理。

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VP-10S產(chǎn)品優(yōu)勢&特點(diǎn):

?四通道設(shè)計(jì),可同時(shí)處理4個(gè)產(chǎn)品,提高運(yùn)行效率,保證處理產(chǎn)品均勻性,UPH400~550pcs;

?基于安達(dá)案例等離子技術(shù),配置雙下電極,節(jié)省進(jìn)出板時(shí)間,大幅提升效率;

?MFC晶圓級專利設(shè)計(jì),防止氣體泄漏引發(fā)安全事故;

?腔體高密封專利設(shè)計(jì),最高可達(dá)5pa以內(nèi);

?水滴角<10°(與清潔表面材質(zhì)相關(guān));

?適用多種產(chǎn)品尺寸及彈夾;

?設(shè)備系統(tǒng)PC軟件控制,擴(kuò)展支持SECS/GEM通訊協(xié)議;


VP-10S技術(shù)參數(shù):

功能配置

技術(shù)參考

  設(shè)備尺寸

  x寬x高(mm)

L=1600,W=1150,H=1700


  凈重(kg)

1000


  設(shè)備周邊間隙(mm)

后面600,兩邊600

  腔體

  容積(L)

9


  通道(條)

4


  下電極(塊)

2(待料功能)


  上料方式

彈夾


  適應(yīng)產(chǎn)品尺寸(mm)

寬度:40-100;長度:150-300

  電極

  電極尺寸(mm)

528x300

  射頻電源

  標(biāo)準(zhǔn)功率(kW)

1


  頻率(MHz)

13.56

  氣體控制

  最多支持三路

標(biāo)配2路,可選配3路

  控制系統(tǒng)

  人機(jī)界面

PC+觸摸顯示屏

  遠(yuǎn)程接口

  通訊

選配

  真空泵

  可選干泵

17CFM


  可選油泵

195CFM


  可選帶吹掃功能干泵

YES


  氮?dú)獯祾吡髁?/span>(SLM)

2


  抽真空時(shí)間(s)

10-15


  破真空時(shí)間(s)

3-4

  廠務(wù)設(shè)施

  電源

三相 AC 380V 50/60Hz 4.55kW(油泵)

三相 AC 380V 50/60Hz 4kW(干泵)


  工藝氣體管路尺寸&類型

1/4 inch Swagelok


  工藝氣體純度

工業(yè)級及以上


  工藝氣體壓力(psig)

10-20


  吹掃氣體管路尺寸&類型

1/4inch Swagelok


  吹掃氣體純度

工業(yè)級及以上


  吹掃氣體壓力(psig)

15


  氣動閥門管路尺寸&類型

10mm push-in fitting


  氣動氣體純度

壓縮空氣,無油,露點(diǎn)≤7℃,顆粒<5


  氣動氣體壓力(psig)

70-90


  壓縮空氣(mm)

?8

  輔助設(shè)備

  氮?dú)獍l(fā)生器(可選)

有氮?dú)獯祾吖δ苄枨髸r(shí)選配


  水冷機(jī)(可選)

配置冷卻功能電極時(shí)選配


  氫氣工具包(可選)

使用氫氣進(jìn)行處理時(shí)選配


  尾氣處理機(jī)(可選)

含氟氣體處理時(shí)的尾氣處理選配

  運(yùn)輸

  總重量(kg)

1050


  包裝件數(shù)

1


  包裝符合SPM15標(biāo)準(zhǔn)

YES


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